低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質的第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。
　　低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到分解污染物的目的。
　　低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態(tài)污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環(huán)境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理中最富有前景、最行之有效的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業(yè)領域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。
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