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[供應(yīng)]供應(yīng)電子行業(yè)超純水常規(guī)制備工藝

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更新日期：2017-03-27 15:52:32
有效期至：2027-03-25
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供應(yīng)電子行業(yè)超純水常規(guī)制備工藝詳細(xì)信息

電子行業(yè)超純水常規(guī)制備工藝
電子行業(yè)超純水常規(guī)制備工藝
1）采用離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
2）采用反滲透加離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機(jī)→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
3）采用反滲透加EDI方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機(jī)→EDI系統(tǒng)→拋光混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)

中國國家電子超純水規(guī)格GB/T1146.1-1997
級別 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
電阻率
MΩ?cm（25℃） 18
(95%時間)
不低于17 15
(95%時間)
不低于13 12.0 0.5
全硅最大值ug/L 2 10 50 1000
>1um微粒數(shù)，最大值個/ml 0.1 5 10 500
細(xì)菌數(shù)，最大值，個/mL 0.01 0.1 10 100
銅，最大值 ug/L 0.2 1 2 500
鋅，最大值 ug/L 0.2 1 2 500
鎳，最大值 ug/L 0.1 1 2 500
鈉，最大值 ug/L 0.5 2 5 1000
鉀，最大值 ug/L 0.5 2 5 500
氯，最大值 ug/L 1 1 10 1000
硝酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
磷酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
硫酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
總有機(jī)碳，最大值 ug/L 20 100 200 1000

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